本标准规定了高纯四氯化锗中铜、锰、铬、钴、镍、钒、锌、铅、铁、镁、铟和砷元素含量的测定方法。
本标准适用于高纯四氯化锗中铜、锰、铬、钴、镍、钒、锌、铅、铁、镁、铟和砷元素含量的测定，各元素的测定范围（质量分数）为1×10-9%～2×10-5%，其中铁为动态反应池模式测定。