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硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

标 准 号： GB/T 14144-2009
替代情况： 替代 GB/T 14144-1993
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位： 峨嵋半导体材料厂
发布日期： 2009-10-30
实施日期： 2010-06-01
点 击 数：
更新日期： 2020年02月01日
内容摘要

本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm 的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm 的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。
 

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