本标准规定了微电子技术用贵金属浆料中方阻的测定方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。
本标准是对GB/T17473—1998《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法》(所有部分)的整合修订,分为7个部分.本部分为GB/T17473—2008的第3部分。
本部分代替GB/T17473.3—1998《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定》。
本部分与GB/T17473.3—1998相比,主要有如下变动:
———将原标准名称修改为微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定;
———增加低温固化型浆料方阻的测定方法;
———原标准的原理中,“将浆料用丝网印刷在陶瓷基片,经过烧结后,膜层在一定温度及其厚度、宽度不变的情况下……”修改为:“将浆料用丝网印刷在陶瓷基片或有机树脂基片上,经过烧结或固化后,膜层在一定温度及厚度、宽度不变的情况下”;
———测厚仪修改为:光切显微测厚仪用于烧结型浆料:范围为0mm~5 mm,精度为0.001
mm。千分尺用于固化型浆料:范围为0mm~5mm,精度为0.001mm。