客服微信 网站公众号
本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。本标准适用于物理气相沉积TiN薄膜,也适用于其他方法制备的TiN薄膜。本标准也适用于其他材料沉积层(TiC,TiCN,TiAlN等)。