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钪铝合金靶材

标 准 号: XB/T 515-2020
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 包头稀土研究院 等
发布日期: 2020-12-09
实施日期: 2021-04-01
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更新日期: 2022年06月16日
内容摘要

本标准规定了钪铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则与标志、包装、运输、贮存及质量证明书。
本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。

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