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关键尺寸扫描电子显微镜 校准规范

标 准 号： JJF(冀) 213-2023
替代情况：
发布单位： 河北省市场监督管理局
起草单位： 中电国基北方有限公司
发布日期： 2023-08-02
实施日期： 2023-11-01
点 击 数：
更新日期： 2023年08月19日
内容摘要

本规范适用于放大倍数20k~200k 的关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）的校准。


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