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半导体设备隔振系统设计及技术要求

标 准 号： T/CI 334-2024
替代情况：
发布单位： 中国国际科技促进会
起草单位： 上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术 物理研究所、上海卫星工程研究所
发布日期： 2024-04-18
实施日期： 2024-04-18
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更新日期： 2024年07月15日
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内容摘要

本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。

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