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汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

标 准 号： T/NLIA 002-2021
替代情况：
发布单位： 武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟 武汉激光学会
起草单位： 武汉大学，武汉飞恩微电子有限公司，上达电子（深圳）有限公司
发布日期： 2021-04-26
实施日期： 2021-06-01
点 击 数：
更新日期： 2024年10月21日
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内容摘要

本文件规定了汽车MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息，包含了汽车MEMS 压力传感器灌封工艺仿真的基本流程：仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。


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