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光纤冷却氦气循环利用装置技术规范

标 准 号： T/CCGA 20011-2024
替代情况：
发布单位： 中国工业气体工业协会
起草单位： 安徽万瑞冷电科技有限公司、杭氧集团股份有限公司、中国工业气体工业协会、中国电子气体生产与利用百人会稀有气体分会
发布日期： 2024-04-08
实施日期： 2024-05-31
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更新日期： 2024年10月27日
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内容摘要

本文件规定光纤冷却氦气循环利用装置的性能要求、工艺及技术要求、检验要求、供货文件、包装、储运。

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