扩散泵、油增压泵换油注意事项：
　　
　　选用品质好的油品；
　　
　　换油时应全部倒出旧油；
　　
　　用溶剂汽油或专用清洗剂清洗泵内全部零件，并用丙酮或乙谜擦干，放在烤箱中烘干，也可用吹风机吹干；
　　
　　按原来部位安装好泵内外零件，喷嘴应在泵腔中部；
　　
　　操作者应手戴白纱脱脂手套装配，按要求量倒入扩散泵油或增压泵油；
　　
　　扩散泵使用中产生的问题及排除方法：
　　
　　真空度偏低：
　　
　　检查前级真空；
　　
　　检查冷却水是否畅通，水温是否偏高；
　　
　　冷却水管有没有部分堵塞；
　　
　　电炉丝功率偏大或偏小；
　　
　　供电电压是否偏低；
　　
　　各喷油嘴装配不正确；
　　
　　规管测量不准确；
　　
　　仪表或导线不正常；
　　
　　真空系统是否漏气；
　　
　　工作室经长期使用残留镀层是否太厚；
　　
　　由操作不当引起的油品很快氧化，即变红或变黑：
　　
　　检查工作是是否忘记打开冷水；
　　
　　真空系统存在较严重漏气；
　　
　　扩散泵在工作时大气进入了扩散泵内；
　　
　　工作室内有可挥发气体或灰尘进入泵腔内。